回顧【雙面蝕刻機】的發(fā)展史
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雙面蝕刻機更早僅是一個蝕刻液槽或缸,存放了蝕刻液,覆銅板掛浸在里面溶液中未保護的銅; 后又使蝕刻液攪動或板子擺動,稍微提高蝕刻速度。此后,在蝕刻液槽中間有一根噴管,板子豎直放于槽體周圍,噴管旋轉(zhuǎn)的離心力把溶液飛濺于板面上實現(xiàn)蝕刻銅。由于板子固定放置于槽內(nèi),人工放板與取板效率低,且勞動強度大。這種條件下加工的板子線條寬度/間距在0.5mm以上。
后來采用水平傳送板子,泵輸送溶液至噴管噴淋溶液,初期還沒有用到噴嘴,僅采用塑料管上開小孔或縫隙噴淋出的溶液,壓力較小。以后進一步發(fā)展成采用噴嘴與擺動結(jié)構(gòu)。
水平傳送承載板子的載體曾是采用塑料編織網(wǎng)帶,由蝕刻機兩頭輥輪轉(zhuǎn)動帶動塑料網(wǎng)的移動,板子放在網(wǎng)上后不動的。這種網(wǎng)帶傳送的好處,適合各種尺寸(長、寬與板厚)板子及撓性板的蝕刻,其缺點是只能單面蝕刻,雙面板要經(jīng)翻板二次蝕刻。為能雙面同時蝕刻,改為滾輪傳送,這樣板子隨著滾輪前進,上下都有空隙可噴淋溶液于板面。裝載滾輪的輥軸轉(zhuǎn)動,有靠鏈條帶動或齒輪帶動,相對而言齒輪傳動平穩(wěn)可靠。因為傳送滾輪之間有間隙,會使小尺寸板及柔軟的板不能傳送,這就要考慮滾輪的密度,或附加“過橋”,使得小尺寸板與撓性板也能傳送,已有設備稱能傳送更薄25μm的薄片。
曾有垂直式傳送蝕刻機,板子垂直掛吊于夾具上進入蝕刻機內(nèi),在蝕刻室兩側(cè)溶液噴淋板面。由于蝕刻設備復雜和沒有體現(xiàn)優(yōu)良的蝕刻效果,因此沒被發(fā)展?,F(xiàn)在主流是水平傳送噴淋式蝕刻機。
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